ELEVEN ELECTRON
Semiconductor Manufacturing
시스템 명칭 Wafer Recovery System (Visions type)
시스템 제작사 Eleven Electron(일레븐 전자)
시스템 방식 Servo Motor/Air System/Vision Full Auto System
시스템 모델 Wafer Recovery System– 00/01-00-001
Serial No WRS - 000000
1. 시스템 일반 사양
1-1 시스템 목적
협의된 규격의 Wafer Frame (Skeleton Wafer)을자재 공급 장치 (Carrier Loader) 에서각 공정 Module로 공급함.
각각의 System Module은 공급 받은 Wafer Frame(Skeleton Wafer)으로 목적에 부합하는 공정을 수행함
(공정 :Skeleton Wafer Separate/Vision Inspection/Wafer Barcode Scan 및 통신/Skeleton Wafer Collection)
12Inch/8Inch.공정을 한설비에서 진행하기 위한 Auto conversion system이 설치됨
Barcode Reader로 Lot(Run)별 생산 관리를 진행함 (CIM Type으로 Date 송/수신 가능)
1-2 사용 자재 및 규격
Wafer
고객사공급 자재 규격
Wafer Type Sample 및 도면 특이 사항

12Inch Wafer
8Inch Wafer

Sample 제공
(도면으로 대체 가능)

12Inch/ 8Inch Conversion
기능 요청

Wafer Frame & Carrier
고객사공급 자재 규격
Wafer Type Sample 및 도면 특이 사항

12Inch Wafer
8Inch Wafer

Sample 제공
(도면으로 대체 가능)

12Inch/ 8Inch Conversion
기능 요청
고객사공급 자재 규격
Carrier Type Sample 및 도면 특이 사항

12&8Inch Wafer Frame
Carrier

Sample 제공
(도면으로 대체 가능)

12& 8Inch Conversion
기능 요청
1-3 사용 자재 공급 방식
공급 자재를 공정별 목적 수행을 위하여 분리하여 작업함
(Skeleton Wafer Frame Skeleton Wafer / Wafer Frame으로 분리 각 Module로 이송함)
1. Wafer Loader 2.Wafer Barcode Scan 3.Vision Inspection 4.Wafer Film Separate 5.Wafer Ring cleaning
6. Wafer Ring collection 7. Wafer Film Folding 8. Wafer Film Collection
** 12Inch/8Inch WaferConversion시, Auto로 Set-up하여 사용함
** Wafer Film Folding / Wafer Ring Cleaning 적용은 옵션으로 양사 합의로 선택할 수 있음
1-4 시스템 제어 방식
시스템 프로그램
프로그램 방식 프로그램 운영 특이 사항
System 구동 PLC
통신 송/수신& UIPC
고객사 협의에 따름 Switch & Touch Screen
조합
시스템 Main 구동부
구동 방식 제작사 특이 사항
Servo Motor/
Air Actuator
Mitsubishi / Panasonic
SMC공압 / TPC공압
Ezi-시리즈 제외
시스템 Vision Inspection구동부
구동 방식 제작사 특이 사항
Vision Camera 엠빛 없음
2. 시스템 세부 사항
2-1 시스템 외형

*** Wafer Film Folding / Wafer Ring Cleaning 적용은 옵션이며, 장비의 전체 크기는 합의로 진행.
2-2 자재 검사 방식
Skeleton Wafer
Wafer Input Position 검사 방식 특이 사항
고객사 지정방향 Visions Inspection Turn Table방식적용
일정 방향 Out put 가능
Wafer Barcode 입력
Barcode Position 검사 방식 특이 사항
고객사 지정방향 Barcode Label Reader 일정 방향 Out put 가능
2-3 구간별 자재 이송 방식
Servo Motor 및 Air Actuator의 조합으로 구간 Module별 자재 이동
2-4 Vision Inspection
- Camera 1, 2or Camera 1
- 조명 컨트롤러 (MLC-C16B)

- Vision Inspection 구성도

*** 최소 Die 사이즈와 검사방법에 따라 비전구성은 달라짐.
2-5 시간당 생산량 (UPH)
Units Per Hour(UPH)
1Hour 1Day
45ea(80초) 1 Shift (8Hour) 360ea
2 Shift (16Hour) 720ea
3 Shift (24Hour) 1,080ea
3. 공통 적용
3-1 시스템 공통 사항
시스템 공통 사항
시스템 내용 특이 사항
Loader/Turn Table 회전 180도 회전 CW Servo Moto/Air Actuator
Wafer Frame 작업 방향 System 전면 기준 CW 없음
System Pick-up 스트로크 10mm 이상의
Vacuum Pad Unit사용
구매품
Safety Cover 상부/하부 기본 제작 Steel Frame & 분체 도장
(Color : Ivory)
Auto Conversion Full Auto 조작 없음
3-2 시스템 SET-UP
SET-UP
사용 전원 전원 공급 수량 특이 사항
단상 AC 220V-50~60Hz 1Unit Control PC 전원 별도
SET-UP
공급 Air 공급 Air 수량 특이 사항
6Bar / 6Kgf/㎠ 1Unit 압력 미달시 시스템 다운
공급 Air 미달시 생산 제품의 안전을 위하여 시스템이 일시적 멈출 수 있습니다
3-3 보증 수리 (A/S)
항목 내용
시스템 파트 12개월
Servo Motor & AMP 제품 보증 기간에 준하여 신규 교체
Control PC / PLC & Touch Screen 제품 보증 기간에 준하여 신규 교체
공압 기기 제품 보증 기간에 준하여 신규 교체
Sensor 제품 보증 기간에 준하여 신규 교체
CIM 통신 완료 후 1년 수정지원
Vision Inspection 완료 후 1년 수정지원
3-4 보증 수리 예외 사항
3개월 이상 시스템 사용 후 프로그램의 변경 및 추가 사항이 발생시,고객사와의 협의에 따라서 진행됩니다.
공압 파트/전기 파트의 임의 분해로 인한 고장 발생시, 보증 수리에서 예외 될 수있으며, 본 사항 발생시,고객사와의 협의에 따라 진행 됩니다.
비정상적인 외부 충격이나, 동작 부위의 간섭을 유발하는 외부 물질 등에 의한 파트 파손시에는고객사와의 협의에 따라 진행됩니다.
(정상적인 상태에서 장비의 오작동에 의한 파트 파손 시에는 보증 수리를 받을수 있습니다)
3-5 시스템 인계 절차
시스템 제작 완료 후,고객담당자의 Module 개별 동작 확인, 연계 동작확인, Auto Mode동작 확인 후 수정사항 발생시, 수정 사항 개선하여고객사에 입고 함.
(자사 Equipment Center에서 진행함)
고객사로 시스템 입고 후, 기본Set-up을 진행, 제공받은 자재로 각 Module Fine-tuning 진행함.
시스템 기본 Set-up 및 Fine-Tuning완료 후, 작업자에게 기본 운영 교육 후 인계 절차 완료함.
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